Россия продолжает развитие микроэлектроники — в стране появятся собственные фотолитографические установки

В рамках долгосрочных стратегий по развитию отечественной микрорадиоэлектронной промышленности зеленоградское научное предприятие заключило с Министерством промышленности и торговли РФ два соглашения. Первое касается разработки и создания сканеров с топологическим уровнем до 350 нанометров, а второе — до 130.

Источник